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臭氧是一種高效的消毒劑,對細菌、病菌、真菌、霉菌芽胞、病毒等微生物都具有極強的殺滅力。由于臭氧為彌漫氣體，消毒無死角，故消毒殺菌效果好。利用氧化性來殺死微生物以達到滅菌效果的化合物還有很多，比如常見的氯氣、漂白粉、高錳酸鉀等。但是，這些殺菌劑不但比臭氧殺菌速度慢，而且一般的殺菌對人體有害。在使用臭氧的時候應在無人環境下開啟，臭氧殺菌與一般殺菌劑不同，因為多余的臭氧可以很快分解成氧氣，故不存在二次污染問題。
空氣中臭氧的含量在百萬分之一以內時對人體很有益,因微量的臭氧能刺激中樞神經，加快血液循環,增加血液中的活氧量，活化細胞，但高濃度的臭氧會使人感到不舒服，甚至會對人體造成可逆性傷害，因此必須控制臭氧的發生量。不過，臭氧應用一百多年來，至今世界上無一例因臭氧中毒死亡事故的發生。

一、臭氧的殺菌、消毒效果
1、殺菌消毒。科學家們自發現并作用臭氧以來，一直對臭氧的殺菌性能進行試驗，科學研究發現，臭氧分子極不穩定，能分解產生氧化能力極強的單原子氧（O）和羥基（OH），對細菌、霉菌、病毒具有強烈的殺滅性，甚至可破壞肉毒桿菌毒素。科學家們作了一系列的試驗，證明臭氧可以快速殺滅：
⑴大腸桿菌、金黃色葡萄球菌、鼠傷寒沙門氏菌、福氏痢疾桿菌、枯草桿菌黑色變種芽孢，黑曲霉等。
⑵常見的乙肝抗原、甲肝病毒抗原、流感病毒、感冒病毒、脊髓灰質炎病毒，甚至SARS病毒和艾滋病毒、禽流感等。
⑶各種霉菌。
⑷各種原蟲和卵囊。
病菌在一定濃度臭氧液中根本就無法生存，就像對原子彈而言，面對原子彈的爆炸，任何生物都無法生還。在臭氧液中任何病原微生物的蛋白質和DNA結構都會被徹底破壞，從而導致死亡。
　　2、解毒。臭氧能通過氧化反應有效去除有毒氣體，如C0、S02、芥子氣等。
溶于水中的臭氧可氧化、分解從而有效去除水中的有毒物質如重金屬離子、有機毒物、*物、硫化物以及敵敵畏、氧化樂果、馬拉硫酸等農藥。
　　3、防護保鮮。由于臭氧對細菌、微生物強烈的殺滅作用，用臭氧水處理肉類及其它食品可以達到防腐、消除異味、保鮮的功效。在臭氧產生的同時還可以產生大量負離子，在空氣中有些負離子可有效抑制果蔬的呼吸作用，延緩其代謝過程。同時，臭氧可以殺滅引起果蔬腐爛的病原菌，分解果蔬貯藏過程中產生的具有催熟作用的代謝廢物如乙烯、醇類、醛類、芳香類等物質。這樣，在臭氧和負離子的作用下抑制了果蔬的新陳代謝及微生物病原菌的滋生蔓延，從而延緩其后熟衰老、防止其腐爛變質，達到保鮮的效果。有研究表明，臭氧可使食品、飲料和果蔬的貯藏期延長3－10倍。
4、除臭、除異味。自然界引起臭味與腐敗味的主要成分是氨、硫化氫、甲硫醇、二甲硫化物、二甲二硫化物等，臭氧可以與它們發生化學反應將其氧化分解為無毒、無臭的物質，從而達到除臭的效果。