通常來講超純水設(shè)備與純水設(shè)備分別用來制取超純水與純水的一個(gè)裝置。通常情況下，用電導(dǎo)率來衡量純水，而用電阻率來衡量超純水的水質(zhì)。一般人為電導(dǎo)率在1-10μs/cm的為純水，電阻率1-18MΩ•cm以上的為超純水。這是二者在產(chǎn)水水質(zhì)上的差異。
通常來講制取純水的設(shè)備，一般采用離子交換工藝，現(xiàn)代的做法，多采用反滲透裝置作為主要制取工藝。在某些行業(yè)，還會(huì)采用二級(jí)反滲透工藝。根據(jù)原水的差異化，在反滲透的前端還有不完全一樣的預(yù)處理工藝。
還有在反滲透裝置基礎(chǔ)有混床，混床是離子工藝一種類型。現(xiàn)代的做法，多采用EDI裝置作為超純水的主要制取工藝。根據(jù)用水的要求的差異化，后端的處理工藝也不完全一樣。
純水設(shè)備大多數(shù)應(yīng)用在對(duì)用水要求不是太高的行業(yè)，比如表面處理，精洗化工，塑膠、五金件的初級(jí)清洗；而超純水設(shè)備則多應(yīng)用在用水要求特別高的行業(yè)，比如柔性線路板的清洗，手機(jī)玻璃蓋板的清洗，攝像頭模組、顯示模組的制造，半導(dǎo)體等等。
